HJC黄金城1100度小型真空气氛快速升降温RTP炉（载物台：4英寸 升温速度：50度S）

　　1100度小型真空/气氛快速升降温RTP炉（载物台：4英寸 升温速度：50度/S）

　　这是一款紧凑型快速热处理管式炉，配有4英寸内径的石英管和线英寸内的半导体晶片或太阳能电池退火而设计。它由短波红外灯管加热，最大加热速率为50ºC/秒。炉内内置30段精度为+/-1ºC的温度控制器，可在不同步骤进行加热、恒温和冷却。包括RS485端口和控制软件，可以在运行的同时通过PC监控温度分布。该炉也可以改装为RTE、CSS或HPCVD炉（具体见下方应用说明）

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　　·最大1000ºC，hjc888黄金城·(中国区)官方网站持续＜20分钟（注意：如果运行时间更长，炉壳将＞100ºC，必须使用风扇从外部冷却炉壳）

　　·热电偶：可插入式的铠装热电偶，进口K型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下

　　包括一个直径为3“的AlN样品支架，用于对直径不超过3”的样品进行退火。AlN具有非常高的热导率，

　　这在样品区域中提供了最佳的温度均匀性。样品支架可从法兰上拆卸，以便将RTP炉用于其他用途

　　·可选：石墨坩埚：外径87 mm x内径71 mm x高度12 mm，带盖，设计用于3“样品架，也可以改装为RTE、CSS或HPCVD炉，带有涂有SiC的石墨坩埚。

　　·KF-D25高真空法兰由不锈钢制成，具有双重高温。硅胶O型圈、针阀和水冷套。

　　·滑出式法兰提供了一种更简单的方式来装载、卸载样品和其他所需的特定过程。

　　·您可以将RTP炉与高真空站或气体输送系统结合起来，hjc888黄金城·(中国区)官方网站作为真空炉或CVD系统。

　　科晶实验室对OTF-1200X-4-RTP设备的追温温差和恒温精度做了一系列实验研究，得出以下经验以供参考：

　　3、实现目的：保持一定的升温速度，待到达恒温温度时，升温速度减缓的温度点越接近恒温温度越好。

　　·进入炉管的气体流量需小于200sccm，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。hjc888黄金城·(中国区)官方网站

　　·此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发）炉（可查看下方的图片自己制备RTE）

　　·在进行化学气相沉积后，石墨烯可从金属催化剂转移到另一个基片衬底上，此法可被广泛应用制备二维材料。通过CVD法生长的石墨烯，表面平整度高且无残渣。

　　·当炉体温度高于900℃时，炉管内不可处于真空状态，hjc888黄金城·(中国区)官方网站炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

　　·可选：将含坩埚盖盖规格为87 O.D×71 I.D×12 H mm的石墨坩埚设计三个坩埚架，则可被改造成一个 RTE，CSS或HPCVD炉，另外石墨坩埚表面涂有SiC涂层。(图2)

　　·建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。hjc888黄金城·(中国区)官方网站（请点击这